На поверхні кристалічних пластин достатньо навіть напівградусної зміни температури під час сушіння, щоб це вплинуло на критичні розміри елементів пластини та призвело до появи дефектів. Необхідна температура, яка точно відповідає вимогам процесу – щоразу, щоразу, для кожної партії продукції. Саме для цього і створюються інфрачервоні лампи для сушіння кремнієвих пластин.
Що має значення з технічної точки зору
Ми використовуємо інфрачервоні випромінювачі короткої довжини хвилі з швидким нагріванням та точним контролем спектру випромінювання. Це дозволяє швидко передавати тепло без перевищення допустимих значень температури фоторезисту. У всій освітленій зоні однорідність температури на поверхні пластини залишається в межах ±0,1°C. Повторюваність результатів забезпечується завдяки системі контролю температури прямо біля виходу лампи. Весь пристрій підходить для використання в чистих приміщеннях класу від 1 до 100; матеріали та конструкція пристрою дозволяють мінімізувати утворення частинок. На практиці пристрої працюють понад 5 000 годин, зберігаючи стабільність продуктивності на рівні 5% – це саме та надійність, на яку можна покластися.
Чому пристрій ефективний у реальних умовах
Під час сушіння за допомогою вібраційного процесу чи після очищення інфрачервоне випромінювання дозволяє швидше сушити пластини, не спричиняючи при цьому проблем з формою елементів пластини чи її краями. У процесі літографії ці ж лампи використовуються для нагрівання пластин, причому контроль температури є точним, що дозволяє краще контролювати ширину ліній та зменшувати кількість необхідних корекцій. Це призводить до меншої кількості відхилених зразків, меншого споживання енергії завдяки ефективному передаванню тепла, а також до меншого часу на технічне обслуговування. Дизайн пристрою відповідає міжнародним стандартам обладнання для напівпровідникової промисловості та є ефективною альтернативою існуючим рішенням.
Що потрібно врахувати під час планування
Під час встановлення необхідно враховувати тепловий зазор та напрямок потоку повітря – лампу потрібно встановити на вказаній відстані та вирівняти її по відношенню до траєкторії руху пластини. Інакше може бути порушена однорідність температури. У безпосередній близькості від сканерів та інших пристроїв може знадобитися захист від електромагнітних поля або корекція їх розташування. Необхідно також провести тестову роботу для оцінки температурного профілю та фіксації необхідних параметрів.