На виробничій лінії температурні коливання під час процедур нагріву та обробки фотополімеру не лише впливають на якість продукції, але й можуть зруйнувати її повністю. Нерівномірність температури у розмірі 0,5°C на поверхні пластини створює градієнт температури в самому фотополімері, а цей градієнт перетворюється на помилки у розмірах після процедур освітлення та обробки. Потрібно, щоб температуру можна було контролювати як справжній параметр процесу, а не як неконтрольовану змінну.
Що є важливим за кулісами Ми створили лампи для тестування пластин під час процедур нагріву на основі кварцових емітерів короткохвильового інфрачервоного світла. Вони швидко та ефективно передають енергію, при цьому забезпечують точний контроль спектру світла. Це дозволяє досягти однорідності температури на поверхні пластини в межах ±0,1°C, забезпечує можливість повторюваних процедур нагріву, а також дає можливість швидко регулювати температуру без перевищення необхідних значень. Система розроблена так, щоб працювати в умовах чистих приміщень класу 1–100, використовуючи матеріали з низьким рівнем випаровування та механічну конструкцію, яка не створює жодних частинок біля точки нагріву. Рівень потужності залишається стабільним протягом 5 000+ годин, з відхиленням менше 5%, тож температурний режим залишається стабільним з партії в партію.
Чому це підходить для вашої роботи Під час процедур нагріву та тестування чіпи мають піддаватися реальним температурним навантаженням – без впливу факторів, пов’язаних з самою упаковкою чіпів. У процесі літографії фотополімер потребує однорідного нагріву по всій поверхні пластини. Наші лампи забезпечують таку точність, при цьому забезпечуючи низьке споживання енергії та тривалий термін служби. Це дозволяє краще контролювати критичні розміри чіпів, зменшити кількість необхідних корекцій та забезпечити стабільну роботу обладнання.
На що потрібно звернути увагу Ці лампи є компактними, але мають високу теплову щільність. Для їх встановлення необхідно забезпечити належну теплоізоляцію від сусідніх модулів та правильну систему відведення тепла; інакше може постраждати сусіднє обладнання чи кабелі. Лампи можна встановлювати в стандартні місця, але толеранції щодо вирівнювання емітера з поверхнею пластини є дуже строгими – необхідно все налаштувати один раз, задокументувати та закріпити.