فیکٹری کے ماحول میں، پروڈکشن کی کارکردگی ڈگریوں اور سیکنڈوں کے حساب سے متاثر ہوتی ہے۔ اگر درجہ حرارت میں تھوڑی سی بھی تبدیلی ہو جائے، یا ویفر کے کسی حصے میں ٹھنڈک پیدا ہو جائے، تو فوٹوریزسٹ کی خصوصیات خراب ہونا شروع ہو جاتی ہیں۔ اچانک، لائنوں کی چوڑائی کا کنٹرول مشکل ہو جاتا ہے، اور خامیوں کی مقدار بھی بڑھ جاتی ہے۔
اسی وجہ سے، TEL ہیٹر لیمپس، درجہ حرارت کو اسی جگہ رکھنے میں مدد کرتے ہیں، یعنی پروسیسنگ عمل کے دورانے کے اندر۔
پروسیسنگ کے دوران کیا اہم ہے؟
یہ لیمپس، شارٹ-ویو انفراریڈ ردِعمل اور کوارٹز کی استحکام کو ایک ساتھ استعمال کرتے ہیں، تاکہ تیز رفتار کنٹرول ممکن ہو سکے۔ ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کی یکسانیت ±0.1°C کے اندر رہتی ہے۔ یہ بہت اہم ہے، خاص طور پر فوٹوریزسٹ کو نرم کرنے، سخت کرنے، اور صاف کرنے کے عملوں میں، کیوں کہ ہر بار ایک ہی درجہ حرارت کا استعمال کیا جاتا ہے۔
اس ڈیزائن کی وجہ سے، ذرات کی پیداوار کم ہوتی ہے، اور گیسوں کا اخراج بھی کنٹرول میں رہتا ہے۔ اس سے کلین روم کلاس 1-100 کے معیارات کو برقرار رکھنے میں مدد ملتی ہے۔ 5,000 گھنٹوں سے زیادہ کے استعمال کے بعد بھی، روشنی کی تیزی میں 5% سے کم تبدیلی ہوتی ہے۔ کم تبدیلی کا مطلب یہ ہے کہ کم کیلیبریشن کی ضرورت ہوتی ہے، اور پروسیسنگ کے دوران زیادہ گنجائش باقی رہتی ہے۔
لیتھوگرافی میں اس کی اہمیت کیا ہے؟
لیتھوگرافی میں، “نرم بیک” فوٹوریزسٹ کے محلول کی خصوصیات کو متعین کرتا ہے، جبکہ “سخت بیک” اسے مستحکم کرتا ہے۔ TEL انفراریڈ ٹیکنالوجی کی وجہ سے، ویفر کا درجہ حرارت تیزی سے بڑھتا ہے – کوئی تاخیر نہیں، کوئی غلطی نہیں۔ صاف کرنے کے بعد، باقی رہنے والی نمی کو بھی ختم کیا جا سکتا ہے، بغیر کسی خطرے کے۔ نتیجے کے طور پر، کم ورک ریور، کم کچرا، اور قابل پیشن گوئی سائیکل ٹائم حاصل ہوتا ہے۔ اور چونکہ لیمپ براہ راست ویفر کو گرم کرتا ہے، نہ کہ پورے چیمبر کو، اس لیے توانائی کی بچت بھی ہوتی ہے۔
جو چیزیں اس کی کارکردگی کو برقرار رکھتی ہیں؟
یہ لیمپ، TEL پلیٹ فارمز کے لیے خصوصی طور پر ڈیزائن کیا گیا ہے، اور یہ بہتر طریقے سے کام کرتا ہے۔ لیکن الائنمنٹ اور ریفلیکٹر کی حالت، پروسیسنگ کی کارکردگی کو متاثر کرتی ہے۔ لیمپ کی پوزیشن کو ویفر کے سائز کے مطابق ایڈجسٹ کرنے کے لیے، اور مصنوعات کے مختلف حصوں میں درجہ حرارت کو یقینی بنانے کے لیے، کچھ وقت درکار ہے۔ لیمپ کی تبدیلی کو باقاعدہ مرمت کے طور پر ہی کیا جانا چاہیے، ورنہ پروسیسنگ کی کارکردگی متاثر ہو جائے گی۔