防止红外灯损坏您的晶圆
如果您使用的是高负载的真空箱，那么您应该很清楚那种糟糕的情况：红外灯突然损坏了。这带来的不仅仅是设备停机的问题，还会造成一片混乱——石英碎片和微小的颗粒会直接落在晶圆上。
这无疑是一场灾难，不过这种状况是完全可以避免的。
我们专门设计了这种红外元件，就是为了防止这类二次污染的发生。
为什么这些灯管会断裂呢？
通常来说，这是因为热冲击或局部过热导致的。如果功率密度过高，而灯管壁的厚度又不足以承受这种压力，那么石英就会破裂。
为了解决这个问题，我们使用了高纯度的合成石英。它的热膨胀系数恰到好处，因此即使在高功率下，灯管也不会破裂。
额外的安全措施
我们不仅仅依赖玻璃材料的强度来保证安全。我们还采用了双重防护机制。首先，我们会为灯管加上高温保护套或特殊涂层。这就像一份保险一样——如果内部灯丝烧断导致灯管破裂，外部保护套就能把所有的碎片挡住，这样晶圆就不会受到破坏。
此外，我们还在连接器方面下了很大功夫。很多人忽视了这一点，但实际上，接触不良会导致电弧现象，从而在密封处产生高温。我们使用精密匹配的端子来避免这种情况的产生。
需要付出的代价
高功率的红外元件会产生大量热量。由于我们加入了保护套，因此其辐射光谱可能会发生轻微变化，且热量传递效率也会略有下降。不过，为了获得更好的安全性，这种牺牲是值得的。您可能需要调整PID参数，或者让晶圆在更长的时间内保持在工作温度下。
最后一条建议： 如果您需要24小时不间断地运行设备，请务必注意冷却风扇的运行状况。再好的安全设计，也无法在真空箱内的温度过高时保护灯管。保持稳定的气流，才能让密封部件更长时间地保持完好状态。