手套箱红外加热元件

防止红外灯损坏您的晶圆 如果您使用的是高负载的真空箱，那么您应该很清楚那种糟糕的情况：红外灯突然损坏了。这带来的不仅仅是设备停机的问题，还会造成一片混乱——石英碎片和微小的颗粒会直接落在晶圆上。 这无疑是一场灾难，不过这种状况是完全可以避免的。 我们专门设计了这种红外元件，就是为了防止这类二次污染...