如何更换RTP加热灯泡

在车间现场，RTP 的正常运行时间和温度控制不是可选项。如果灯管漂移或加热器无法保持均匀性，问题会立刻显现——光刻胶软烘烤不达标，硬烘烤导致线宽偏移，或封装固化过程中产生气孔。热预算要求严格，替换方案必须满足这一点。 真正关键的是将灯输出与腔体几何形状相匹配。我们使用 NIR 卤素灯，提供稳定的短...