阿里巴巴RTP灯供应商

在晶圆厂车间，光刻胶烘烤过程中半度的温度摆动就足以导致线宽偏差，进而报废大量产品。对温度漂移零容忍并非口号，而是维持良率在90%以上的日常纪律。 技术重点 我们采用专为快速热处理（RTP）设计的灯管，内置短波卤素元件和石英组件。加热速度快，能保持晶圆级均匀性在±0.1°C以内。硬件符合Class...