V provozu se rychle učíte: posun o 1 °C během vypalování fotorezistu stačí k tomu, aby se změnila šířka čar na destičce a 300mm destička se proměnila v odpad. Období měkkého a tvrdého vypalování jsou velmi přesně definovaná – není tu žádný prostor pro chyby. Termální jednotnost není jen dalším „příjemným“ prvkem; je to rozhodující faktor pro dosažení požadovaného výsledku.
Naše polovodičové infračervené ohřívací lampy umožňují udržet tuto termální jednotnost po celou dobu provozu.
Co je důležité pod kapotou Používáme emitory krátkovlnného infrazáření – s rychlým nárůstem teploty a přesnou kontrolou spektra. Díky tomu dosahujeme požadované teploty rychle a přímo, bez překročení limitů. Dosahujeme tak jednotnosti teploty na úrovni destičky v rozmezí ±0,1 °C v celé oblasti vypalování, přičemž opakovatelnost hodnot je ±0,5 °C.
Částice zůstávají mimo oblast působení lampy, protože materiály jsou vhodné pro použití v čistých prostorách a optická trasa je plně uzavřena. Lampy fungují více než 5 000 hodin s poklesem výkonu menším než 5 %. Jejich rozměry odpovídají standardním prostorům pro nástroje a lze je snadno integrovat do stávajících systémů řízení.
Proč to pomáhá v litografii a balení V litografii se tato opakovatelnost projevuje jako konzistentní profily fotorezistu, méně potřeby oprav a stabilní kontrola rozměrů destiček. V balení rychlé a rovnoměrné ohřevování zkracuje dobu výroby, aniž by docházelo k nadměrnému namáhání konstrukce destičky.
A protože lampa ohřívá cílový objekt přímo, neplýtváme energií na ohřev vzduchu v komoře. Výsledkem jsou stabilní procesní podmínky, předvídatelné intervaly údržby a méně neplánovaných přestávek.
Co je potřeba správně nastavit při instalaci Nastavení spočívá v optické zarovnání a správném řešení problémů s elektromagnetickými rušeními. Odrazové vlny mohou vést ke vzniku „horkých míst“, proto je součástí práce také izolace a odrazova zařízení.
Lampy fungují v čistých prostorách třídy 1–100, ale jejich tepelné vlastnosti závisí na geometrii komory a průtoku vzduchu. Dejte nám informace o vašich nástrojích a my nastavíme konfiguraci odpovídajícím způsobem.
Kalibrace probíhá rychle. Jakmile je proces ustálen, opakovatelnost mezi jednotlivými cykly zůstává na požadované úrovni.