در این خط تولید، ویفرهای ۳۰۰ میلیمتری وارد استخر حرارتی میشوند. فوتورزیست باید در عرض چند ثانیه، به دمای مورد نظر در کل سطح ویفر برسد. اگر این زمان مناسب را از دست بدهیم، کنترل دقت سطح ویفر دچار اختلال میشود؛ در نتیجه، بازدهی تولید کاهش مییابد.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟
ما گرمکنهای مادون قرمز را بر اساس منابع انرژی موج کوتاه طراحی کردهایم؛ زیرا نیاز به انتقال انرژی سریع و مستقیم وجود دارد. سیستم بازخوردی، دمای ویفر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد نگه میدارد. این امر باعث میشود که یکنواختی سطح ویفر به خوبی حفظ شود؛ این اطلاعات را میتوان مستقیماً از گزارشات دادهها دریافت کرد، بدون نیاز به بررسیهای پیچیده.
پوشش کوارتزی و بدنه سرامیکی این گرمکنها، برای اتاقهای تمیز در رده ۱ تا ۱۰۰ طراحی شدهاند؛ این گرمکنها کمترین میزان گاز صادر میکنند و از تولید ذرات نیز جلوگیری میکنند. تراکم انرژی نیز بر اساس شرایط فرآیند تنظیم شده است؛ بنابراین، رفتار گرمکن در حالت گرم کردن، نگهداری یا خنک کردن، یکنواخت باقی میماند.
چرا این گرمکنها در فرآیندهای لیتوگرافی و حرارتی مفید هستند؟
در فرآیندهای لیتوگرافی و پردازش ویفرها، مرحله حرارتدادن، محلی است که بیشترین انرژی مصرف میشود. با کنترل دقیق دما، تغییرات بین خطوط تولید و بین دستههای مختلف کاهش مییابد؛ این امر منجر به کاهش مواد اضافی و حفظ یکنواختی سطح ویفر میشود.
این گرمکنها به سرعت به دمای مورد نظر میرسند و بدون نوسان، دما را حفظ میکنند؛ بنابراین مصرف انرژی کاهش مییابد. همچنین، قابلیت اطمینان این گرمکنها به گونهای است که بتوانند ۲۴ ساعته کار کنند، بدون نیاز به تعمیرات مکرر.
چه چیزهایی را باید قبل از نصب این گرمکنها در نظر بگیرید؟
این گرمکنها به راحتی میتوانند در مدولهای حرارتی موجود ادغام شوند؛ اما باید جرم حرارتی و ساختار نصب آنها با شرایط اتاق تمیز هماهنگ باشد. باید زودتر درباره نحوه اتصال، تنظیمات و محل قرارگیری سنسور دما تصمیم بگیرید؛ این امر به عملکرد بهتر سیستم کمک میکند.
همچنین، باید ولتاژ و نوع کانکتور مورد نیاز برای تجهیزات خود را در نظر بگیرید؛ همچنین باید الزامات مربوط به اتاق تمیز برای فرآیند خاص خود را بررسی کنید.