در کارخانههای تولید تراشه، یادگیری سریع امری ضروری است؛ حتی تغییر ۱ درجه سانتیگراد در دمای فر، میتواند باعث تغییر عرض خطوط روی ویفر شود و در نتیجه، ویفر ۳۰۰ میلیمتری به زباله تبدیل شود. بازههای دمایی مناسب برای پختن ویفر بسیار محدود هستند؛ هیچ فضای انعطافی وجود ندارد. یکنواختی دمایی نه یک ویژگی اختیاری است، بلکه تفاوت بین موفقیت در تولید و شکست در تولید است.
ما لامپهای گرمایشی مادون قرمز خود را طوری طراحی کردهایم که این یکنواختی دمایی در طول فرآیند تولید حفظ شود.
چه چیزهایی مهم هستند؟ ما از منابع تابشی موج کوتاه استفاده میکنیم؛ این منابع باعث افزایش سریع دما و کنترل دقیق طیف تابش میشوند. در نتیجه، دمای مورد نظر به سرعت و به طور مستقیم به دست میآید، بدون اینکه دما بیش از حد افزایش یابد. یکنواختی دمایی در سطح ویفر در محدوده ±۰٫۱ درجه سانتیگراد است، و تکرارپذیری دما نیز در محدوده ±۰٫۵ درجه سانتیگراد است.
ذرات مختلف نمیتوانند وارد فضای مورد نظر شوند؛ زیرا مواد مورد استفاده سازگار با محیطهای پاک هستند و مسیر نوری نیز کاملاً محصور شده است. این لامپها میتوانند بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار کنند، بدون اینکه کارایی آنها کمتر از ۵٪ کاهش یابد. اندازه این لامپها مناسب فضاهای استاندارد تولید است، و میتوان آنها را به راحتی در سیستمهای کنترل PLC استفاده کرد.
چرا این موضوع در فرآیندهای لیتوگرافی و بستهبندی مهم است؟ در فرآیندهای لیتوگرافی، این تکرارپذیری باعث ایجاد الگوهای یکنواختی در رویههای فوتورزیست، کاهش تعداد محصولات ناقص، و کنترل دقیق قطر ویفر میشود. در فرآیندهای بستهبندی نیز، گرمایش سریع و یکنواخت باعث کوتاه شدن زمان لازم برای پختن ویفر میشود، بدون اینکه به ساختار ویفر آسیبی وارد شود.
همچنین، از آنجایی که لامپ مستقیماً هدف را گرم میکند، انرژی بیشتری صرف گرم کردن هوای داخل محفظه نمیشود. در نتیجه، فرآیند تولید پایدار خواهد بود، بازههای نگهداری قابل پیشبینی خواهند بود، و توقفهای غیرمنتظره کمتر خواهد بود.
چه چیزهایی برای نصب صحیح لامپ لازم است؟ نصب لامپ به هماهنگی اپتیکال و رعایت استانداردهای EMI/EMC بستگی دارد. بازتابهای ناخواسته میتوانند باعث ایجاد نقاط داغ شوند؛ بنابراین، استفاده از سپرها و موانع برای جلوگیری از این مشکل ضروری است.
این لامپها میتوانند در محیطهای پاک کلاس ۱ تا ۱۰۰ کار کنند؛ اما عملکرد حرارتی آنها به شکل محفظه و جریان هوا بستگی دارد. لطفاً پروفایل دستگاه خود را به ما بدهید تا بتوانیم پیکربندی لامپ را متناسب با آن تنظیم کنیم.
فرآیند آزمایش لامپها نیز سریع انجام میشود؛ پس از تنظیم فرآیند، تکرارپذیری عملکرد لامپ در هر بار استفاده، در محدوده مورد نظر خواهد بود.