در فرآیندهای تست، نوسانات حرارتی در طول فرآیندهای برنینگ و پخت رزست، نه تنها باعث کاهش بازدهی میشوند، بلکه آن را کاملاً از بین میبرند. عدم یکنواختی دما در محدوده ۰.۵ درجه سانتیگراد، منجر به ایجاد تفاوتهای دمایی در رزست میشود؛ این تفاوتها پس از قرار گرفتن در معرض نور و فرآیندهای توسعه، به خطاهای اندازهگیری تبدیل میشوند. لازم است که از حرارت به عنوان یک پارامتر واقعی در فرآیندهای تولید استفاده شود، نه به عنوان یک عامل نامشخص.
چه چیزهایی اهمیت دارد؟
ما لامپهای مورد استفاده برای تست برنینگ ویفرها را بر اساس فرستندههای کوارتز نور مادون قرمز کوتاهامواج ساختیم؛ زیرا این فرستندهها انرژی را به سرعت و به طور مستقیم انتقال میدهند، همچنین کنترل طیفی دقیقی دارند. در نتیجه، یکنواختی دما در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حاصل میشود؛ همچنین الگوهای پخت قابل تکراری وجود دارد، و پاسخ حرارتی سیستم آنقدر سریع است که میتوان از رشد نوسانات دما جلوگیری کرد. این سیستم برای استفاده در اتاقهای پاک با کلاسهای ۱ تا ۱۰۰ طراحی شده است؛ از موادی با انتشار گاز کم و ساختارهای مکانیکی که هیچ ذرهای در نقاط گرمایشی ایجاد نمیکنند، استفاده شده است. خروجی سیستم در طول بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار، با انحراف کمتر از ۵٪، پایدار باقی میماند؛ بنابراین بودجه حرارتی شما در هر بار تولید، یکنواخت خواهد بود.
چرا این سیستم مناسب کارهای شماست؟
در فرآیندهای برنینگ و تست، ویفر باید با یک الگوی فشار حرارتی واقعی روبرو شود؛ بدون اینکه عوامل ناشی از بستهبندی، تصویر را مختل کنند. در فرآیندهای لیتوگرافی، رزست نیاز به پخت یکنواخت در سراسر ویفر دارد. لامپهای ما این دقت را فراهم میکنند، در حالی که مصرف انرژی کم و زمان تعمیرات طولانی است. در نتیجه، کنترل اندازههای حیاتی بهتر میشود، تعداد محصولاتی که نیاز به تعمیر دارند کمتر میشود، و زمان کارکرد سیستم قابل پیشبینی خواهد بود؛ دیگر نیازی نیست در ساعت ۲ صبح، با نوسانات دما مقابله کنید.
چه چیزهایی باید در نظر بگیرید؟
این لامپها کوچک هستند، اما چگالی حرارتی آنها بالاست. نصب آنها نیازمند عایقبندی حرارتی مناسب از ماژولهای مجاور و مسیرهای مناسب برای تخلیه گرما است؛ در غیر این صورت، پلیمرها و کابلهای اطراف آسیب خواهند دید. این لامپها میتوانند در جایگاههای استاندارد نصب شوند، اما دقت تنظیم فاصله بین فرستنده و ویفر بسیار بالاست؛ بنابراین باید آن را یک بار تنظیم کرده، ثبت کرده و ثابت نگه داشت.