Arrêtez de chauffer les parois de votre machine (et commencez plutôt à chauffer les wafers eux-mêmes) ! Avez-vous déjà remarqué à quel point les parois d’une chambre de semi-conducteurs peuvent devenir extrêmement chaudes ? C’est un problème très fréquent et vraiment agaçant. La plupart des systèmes de chauffage distribuent l’énergie dans toutes les directions, ce qui signifie que vous gaspillez beaucoup d’énergie pour chauffer le châssis de la machine, au lieu du wafers lui-même. C’est un gaspillage inutile.
C’est pourquoi nous utilisons un système de chauffage infrarouge directionnel.
Comment ça marche en réalité ? Imaginez la différence entre une ampoule et une lampe de poche : au lieu de disperser la chaleur partout, les lampes infrarouges directionnelles concentrent le faisceau lumineux. Nous pouvons contrôler l’angle afin que l’énergie soit dirigée exactement là où elle est nécessaire.
Résultat ? Vos équipements coûteux ne fonctionnent plus comme de véritables éponges absorbant inutilement de la chaleur. Vous obtenez la température souhaitée sur le wafers, tandis que le châssis reste frais.
Sécurité et facture d’électricité Lorsque les parois ne sont pas excessivement chaudes, tout le monde peut respirer plus facilement. Vos techniciens peuvent effectuer des maintenances ou des vérifications sans craindre de se brûler.
De plus, il y a aussi l’aspect financier : vous cessez de payer pour chauffer un châssis métallique qui n’a pas besoin d’être si chaud.
Il y a cependant un point à garder à l’esprit : comme nous concentrons toute cette énergie dans un faisceau étroit, la chaleur au point focal est intense. Si votre substrat est particulièrement sensible, il faudra ajuster la distance entre la lampe et le substrat, ainsi que la fréquence des impulsions. Vous ne voulez pas créer de points chauds accidentellement.
Installation Nous avons conçu ces lampes afin qu’elles puissent être installées facilement. Vous n’avez pas besoin de démonter toute la chambre ou de réorganiser son installation pour les installer.
Mais attention : l’alignement est essentiel. Si la lampe bouge ne serait-ce que de quelques degrés, la chaleur va se répandre à nouveau dans les parois. Pour éviter cela, utilisez un contrôleur PID précis. Il permettra de maintenir une température constante, sans avoir à s’en soucier.