ในโรงงานผลิตชิป คุณจะได้เรียนรู้สิ่งต่างๆ อย่างรวดเร็ว: การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 1°C ระหว่างกระบวนการอบวัสดุฟอโตรีซิสต์ก็เพียงพอที่จะทำให้ความกว้างของเส้นที่วาดบน wafer เปลี่ยนไป และทำให้ wafer ขนาด 300 มม. กลายเป็นขยะได้ ช่วงเวลาการอบวัสดุนั้นมีข้อจำกัดอย่างชัดเจน ไม่มีพื้นที่สำหรับความคลาดเคลื่อนใดๆ เลย ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิไม่ใช่สิ่งที่ควรมีเพียงเล็กน้อยเท่านั้น แต่เป็นสิ่งสำคัญที่จะกำหนดว่าจะได้ผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพหรือไม่
เราได้ออกแบบหลอดไฟให้ความร้อนแบบอินฟราเรดสำหรับการผลิตชิปขึ้นมา เพื่อให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำตลอดกระบวนการผลิต
สิ่งที่สำคัญจริงๆ คืออะไร? เราใช้หลอดไฟที่สามารถให้ความร้อนได้อย่างรวดเร็ว และมีการควบคุมสเปกตรัมได้อย่างแม่นยำ ทำให้สามารถเพิ่มอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็วและตรงเป้าหมาย โดยไม่มีความคลาดเคลื่อน ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิบน wafer อยู่ในช่วง ±0.1°C และความแม่นยำของจุดควบคุมอุณหภูมิอยู่ในช่วง ±0.5°C
อนุภาคต่างๆ จะไม่เข้ามาในบริเวณที่มีการอบวัสดุ เพราะวัสดุที่ใช้นั้นเหมาะสมสำหรับการใช้งานในห้องที่มีสภาพแวดล้อมสะอาด และเส้นทางการส่งแสงก็ถูกปิดผนึกไว้อย่างดี หลอดไฟเหล่านี้สามารถทำงานได้นานกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีการลดลงของกำลังไฟน้อยกว่า 5% นอกจากนี้ หลอดไฟเหล่านี้ยังสามารถติดตั้งได้ในพื้นที่มาตรฐาน และสามารถควบคุมการทำงานได้ผ่านระบบ PLC ได้เลย
ทำไมสิ่งนี้ถึงมีประโยชน์ในกระบวนการผลิตชิปและการบรรจุผลิตภัณฑ์? ในกระบวนการผลิตชิป ความแม่นยำนี้ช่วยให้ได้โปรไฟล์ของวัสดุฟอโตรีซิสต์ที่สม่ำเสมอ ลดจำนวนครั้งที่ต้องทำงานซ้ำ และช่วยให้สามารถควบคุมความหนาของชั้นวัสดุได้ดี ส่วนในการบรรจุผลิตภัณฑ์ การให้ความร้อนอย่างรวดเร็วและสม่ำเสมอช่วยให้กระบวนการแห้งเร็วขึ้น โดยไม่สร้างความเครียดให้กับชั้นวัสดุต่างๆ
นอกจากนี้ เนื่องจากหลอดไฟให้ความร้อนโดยตรงกับวัสดุที่ต้องการอุณหภูมิสูง จึงไม่มีการสูญเสียพลังงานไปกับการทำให้อากาศภายในห้องร้อนขึ้น ผลลัพธ์ก็คือ กระบวนการผลิตมีความเสถียร สามารถคาดการณ์ช่วงเวลาการบำรุงรักษาได้ และลดจำนวนครั้งที่ต้องหยุดกระบวนการผลิตโดยไม่คาดคิด
สิ่งที่จำเป็นต้องทำให้ถูกต้องเมื่อติดตั้ง การติดตั้งหลอดไฟนั้นต้องคำนึงถึงการปรับแต่งทางด้านแสง และการป้องกันสัญญาณรบกวนต่างๆ แสงที่สะท้อนออกมาอาจก่อให้เกิดจุดร้อนได้ ดังนั้นการป้องกันและการควบคุมแสงจึงเป็นสิ่งสำคัญ
หลอดไฟเหล่านี้สามารถใช้งานได้ในห้องที่มีสภาพแวดล้อมสะอาดระดับ Class 1–100 แต่ประสิทธิภาพในการให้ความร้อนนั้นขึ้นอยู่กับรูปร่างของห้องและการไหลของอากาศด้วย หากคุณมีข้อมูลเกี่ยวกับอุปกรณ์ของคุณ เราจะสามารถปรับแต่งการติดตั้งให้เหมาะสมได้
การปรับแต่งหลอดไฟนั้นทำได้อย่างรวดเร็ว หลังจากที่กระบวนการผลิตถูกปรับให้เสถียรแล้ว ความแม่นยำของกระบวนการก็จะอยู่ในระดับที่คุณต้องการต่อไป