Припиніть нагрівати стіни апарату (і почніть нагрівати самі пластини)
Чи помічали ви, що стіни камери для обробки напівпровідників можуть ставати дуже гарячими? Це дуже поширена проблема. Більшість систем опалення розсіюють енергію в усіх напрямках, тож ви витрачаєте чимало енергії на нагрів корпусу апарату, а не самої пластини. Це марна трата ресурсів.
Саме тому ми використовуємо направлене інфрачервоне опалення.
Як це працює
Уявіть собі різницю між лампою та ліхтариком. Замість того, щоб випромінювати тепло в усі боки, направлені інфрачервоні лампи концентрують промінь енергії в одному напрямку. Ми контролюємо кут, щоб енергія потрапляла саме туди, де це необхідно.
Результат? Ваш дорогий обладнання не буде „ще одним джерелом тепла“. На поверхні оброблюваної пластини буде правильна температура, а корпус залишиться прохолодним.
Безпека та економія коштів
Коли стіни не стають надто гарячими, у всіх полегшується дихання. Ваші техніки можуть виконувати технічне обслуговування без ризику отримати опіки.
Крім того, є ще економічний аспект – ви перестаєте платити за нагрів металевого корпусу, який не потребує такої високої температури.
Однак є одна умова: оскільки ми концентруємо всю енергію в одному промені, температура в точці фокусу є дуже високою. Якщо ваша пластина є делікатною, вам потрібно буде налаштувати відстань до лампи та частоту імпульсів. Не потрібно, щоб виникали „гарячі точки“.
Налаштування
Ми спроектували ці лампи так, щоб їх можна було легко замінити. Вам не потрібно руйнувати всю камеру чи змінювати її конструкцію, щоб встановити їх туди.
Але є одна умова – правильна налаштування є ключовою. Якщо лампа зміститься навіть на кілька градусів, тепло почне поширюватися на стіни. Щоб усе було стабільно, використовуйте точний контролер PID. Це допоможе уникнути проблем.