На виробничій лінії можна швидко навчитися роботі: достатньо лише 1°C зміни температури під час обробки фотополімеру, щоб це вплинуло на ширину ліній на пластинці, і тоді 300-мм пластинка стає непридатною до використання. Тривалість процесу обробки є дуже точно визначеною – немає жодних можливостей для корекції. Термічна однорідність є критично важливою – саме вона визначає, чи буде продукція якісною чи ні.
Ми створили свої напівпровідникові інфрачервоні нагрівальні лампи, які дозволяють підтримувати необхідний рівень температури протягом усього процесу обробки.
Що є важливим під час експлуатації
Ми використовуємо низьков波довжинних інфрачервоних випромінювачів – вони дозволяють швидко досягти потрібної температури та забезпечують точний контроль спектру випромінювання. Це дозволяє досягти однорідності температури на всій площі пластинки в межах ±0,1°C, а точність регулювання температури – ±0,5°C.
Частинки не потрапляють всередину пристрою, оскільки матеріали, з яких виготовлені компоненти, сумісні з умовами чистих приміщень, а оптичний шлях повністю ізольований. Лампи можуть працювати понад 5 000 годин без значного зниження їх ефективності. Розміри пристрою підходять для стандартних приміщень, а його можна легко інтегрувати в існуючу систему керування PLC.
Чому це важливо у літографії та упаковці
У літографії така точність дозволяє отримувати послідовні профілі фотополімеру, зменшує кількість необхідних корекцій та забезпечує стабільний контроль параметрів обробки. У упаковці швидке та рівномірне нагрівання скорочує час обробки, не завдаючи шкоди структурі продукту.
Крім того, оскільки лампа нагріває сам об’єкт обробки, не витрачається енергія на нагрів повітря в приміщенні. Це призводить до стабільних умов процесу, передбачуваних періодів технічного обслуговування та меншої кількості неспланованих зупинок.
Що потрібно врахувати під час встановлення
Все зводиться до оптичної налаштуваності та правильної ізоляції від електромагнітних перешкод. Випадкові відблиски можуть створювати „гарячі точки“, тож ізоляція є важливою частиною процедури встановлення.
Лампи можуть працювати у приміщеннях класу чистоти 1–100, але їх ефективність залежить від геометрії приміщення та потоку повітря. Надайте нам параметри вашого обладнання, і ми налаштуємо пристрій відповідно.
Процес кваліфікації відбувається швидко. Як тільки процес стає стабільним, його повторюваність залишається на бажаному рівні.