Trong quá trình xử lý, tấm wafer có kích thước 300mm sẽ được đưa vào khu vực nung. Chất cảm quang cần được làm nóng đến nhiệt độ cần thiết trên toàn bộ bề mặt của tấm wafer trong vài giây. Nếu không tuân thủ điều này, chất lượng sản phẩm sẽ bị ảnh hưởng nghiêm trọng.
Những yếu tố quan trọng
Chúng tôi sử dụng các nguồn nhiệt hồng ngoại công suất cao để tạo ra môi trường nung lý tưởng. Điều này giúp truyền năng lượng một cách nhanh chóng và hiệu quả. Hệ thống phản hồi khép kín giúp duy trì nhiệt độ ở mức ±0,1°C. Nhờ đó, chất lượng tấm wafer được đảm bảo ổn định, và thông số nhiệt độ có thể được theo dõi trực tiếp từ bảng dữ liệu.
Vỏ bọc bằng thạch anh và thân máy làm từ vật liệu gốm thuộc loại phù hợp cho các phòng sạch cấp độ 1–100: ít khí thải, và không tạo ra các hạt bụi. Công suất nhiệt được điều chỉnh sao cho phù hợp với quy trình nung, giúp việc nung diễn ra một cách ổn định, không có sự biến động nhiệt độ.
Tại sao điều này lại quan trọng trong quá trình litografi và xử lý wafer
Trong quá trình litografi và xử lý wafer, bước nung chiếm một tỷ lệ lớn năng lượng được sử dụng. Việc kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác giúp giảm sự biến động giữa các lô sản phẩm khác nhau. Điều này giúp giảm lượng sản phẩm bị hỏng và đảm bảo chất lượng tấm wafer ổn định.
Bộ sưởi có khả năng đạt nhiệt độ mong muốn một cách nhanh chóng và duy trì nhiệt độ đó mà không xảy ra sự dao động. Nhờ đó, mức tiêu thụ năng lượng được giảm xuống. Bên cạnh đó, tính ổn định của bộ sưởi giúp máy móc hoạt động liên tục 24/7 mà không cần bảo trì thường xuyên.
Những điều bạn cần lưu ý trước khi lắp đặt
Các bộ sưởi này có thể được tích hợp dễ dàng vào các mô-đun nung hiện có, nhưng bạn cần đảm bảo rằng khối lượng nhiệt và cách lắp đặt phù hợp với điều kiện của phòng sạch. Bạn cần xác định rõ khoảng cách, vị trí lắp đặt cảm biến nhiệt độ, để đảm bảo hiệu suất hoạt động tốt nhất.
Bạn cũng cần xác định rõ điện áp và loại kết nối phù hợp với thiết bị của mình, đồng thời đảm bảo rằng phòng sạch đáp ứng được các yêu cầu cần thiết cho quy trình sản xuất của mình.