Trên bề mặt của các tấm silic, chỉ cần có sự thay đổi nhiệt độ khoảng nửa độ trong quá trình sấy khô thôi cũng đủ gây ra những sai lệch về kích thước cần thiết, từ đó dẫn đến các khiếm khuyết trên bề mặt tấm silic. Do đó, cần có nguồn nhiệt chính xác theo yêu cầu của quy trình sản xuất, và điều này phải được duy trì liên tục qua từng lô sản phẩm. Đó chính là điều mà các bóng đèn hồng ngoại dùng để sấy khô tấm silic được thiết kế nhằm đáp ứng.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật
Chúng tôi sử dụng các bóng đèn hồng ngoại sóng ngắn với khả năng tăng nhiệt độ nhanh chóng và kiểm soát phổ nhiệt độ chính xác. Nhờ đó, việc truyền nhiệt diễn ra nhanh chóng mà không làm vượt quá giới hạn nhiệt độ cho phép của lớp phim photorest. Trên toàn bộ khu vực được chiếu sáng, độ đồng đều của nhiệt độ trên bề mặt tấm silic được duy trì ở mức ±0,1°C. Độ lặp lại của quá trình sấy khô cũng được kiểm soát chặt chẽ nhờ hệ thống đo nhiệt độ tích hợp ngay tại vị trí bóng đèn. Toàn bộ hệ thống này có thể hoạt động trong môi trường phòng sạch từ loại 1 đến loại 100; các vật liệu và cấu trúc của hệ thống giúp giảm thiểu sự xuất hiện của các hạt bụi. Trên thực tế, các thiết bị này đã hoạt động hơn 5.000 giờ mà vẫn giữ được độ ổn định nhiệt độ trong khoảng 5% – đó chính là mức độ ổn định mà chúng ta có thể tin tưởng được.
Tại sao chúng vẫn hoạt động tốt trong quy trình sản xuất thực tế
Trong quá trình sấy khô bằng phương pháp quay và rửa, các bóng đèn hồng ngoại giúp sấy khô tấm silic nhanh hơn, đồng thời tránh được các vấn đề liên quan đến sự biến dạng của mẫu hoặc sự hình thành các vết tụ nhiệt ở mép tấm silic. Trong quy trình in ảnh, các bóng đèn này cũng giúp kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác, giúp giảm thiểu các sai lệch về độ rộng của các đường nét trên tấm silic. Kết quả là số lượng sản phẩm bị hỏng giảm, mức tiêu thụ năng lượng cũng giảm nhờ khả năng truyền nhiệt hiệu quả, đồng thời giảm thời gian bảo trì. Thiết kế này đáp ứng được các tiêu chuẩn của các thiết bị bán dẫn quốc tế, và mang lại giải pháp thay thế tốt cho các hệ thống hiện có.
Những điều bạn cần lưu ý khi lập kế hoạch
Việc lắp đặt yêu cầu phải chú ý đến khoảng cách nhiệt và dòng khí lưu thông – bóng đèn cần được lắp đặt ở vị trí đã được chỉ định và phải được căn chỉnh sao cho nằm trên đường đi của tấm silic. Nếu không, độ đồng đều của nhiệt độ sẽ bị ảnh hưởng. Việc sử dụng các thiết bị gần máy quét hoặc các bộ phận khác cũng có thể yêu cầu phải có biện pháp bảo vệ hoặc điều chỉnh để tránh xung đột điện từ. Hãy lên kế hoạch cho một quá trình kiểm tra ngắn để xác định đồ thị nhiệt độ, sau đó thiết lập các giá trị nhiệt độ cần thiết.