Hãy ngừng việc làm nóng các bức tường của máy móc đi (và hãy tập trung vào việc làm nóng các tấm wafer thay vì vậy).
Bạn có bao giờ để ý rằng các bức tường trong buồng chế tạo bán dẫn có thể trở nên cực kỳ nóng không? Đây là một vấn đề khá phổ biến và gây phiền toái. Hầu hết các hệ thống sưởi ấm đều phát ra nhiệt lượng tứ phía, điều này khiến bạn phải tiêu tốn rất nhiều năng lượng để làm nóng thân máy, thay vì làm nóng chính các tấm wafer. Đó là sự lãng phí.
Đó là lý do tại sao chúng ta sử dụng phương pháp sưởi ấm bằng tia hồng ngoại có hướng.
Cách thức hoạt động của nó như thế nào?
Hãy tưởng tượng sự khác biệt giữa bóng đèn và đèn pin. Thay vì để nhiệt lan tỏa khắp nơi, đèn hồng ngoại có hướng sẽ tập trung nhiệt lượng vào một điểm cụ thể. Chúng ta có thể kiểm soát góc chiếu sao cho nhiệt lượng được chuyển đến đúng nơi cần thiết.
Kết quả là, các thiết bị đắt tiền của bạn sẽ không bị “hấp thụ” quá nhiều nhiệt lượng không cần thiết. Bạn có thể kiểm soát được nhiệt độ cần thiết trên các tấm wafer, trong khi thân máy vẫn giữ được nhiệt độ ổn định.
An toàn và chi phí điện năng
Khi các bức tường không còn quá nóng, mọi người sẽ cảm thấy thoải mái hơn. Các kỹ thuật viên có thể thực hiện công việc bảo trì mà không lo bị bỏng. Ngoài ra, bạn cũng sẽ tiết kiệm được chi phí điện năng, vì bạn không còn phải trả tiền để làm nóng những bộ phận kim loại không cần thiết.
Tuy nhiên, có một điều cần lưu ý: vì chúng ta tập trung toàn bộ nhiệt lượng vào một điểm cụ thể, nên nhiệt độ ở điểm đó rất cao. Nếu vật liệu được xử lý khá nhạy cảm với nhiệt, bạn cần điều chỉnh khoảng cách giữa đèn và vật liệu, cũng như tần số xung. Bạn không muốn tạo ra những điểm nóng không mong muốn.
Cách lắp đặt
Chúng tôi thiết kế những chiếc đèn này sao cho có thể thay thế một cách dễ dàng. Bạn không cần phải tháo rời toàn bộ buồng chế tạo hay thiết kế lại cấu trúc của nó chỉ để lắp đặt chúng.
Nhưng điều quan trọng nhất là việc căn chỉnh chính xác. Nếu đèn bị lệch vài độ, nhiệt lượng sẽ lại lan vào các bức tường. Để đảm bảo mọi thứ hoạt động ổn định, hãy sử dụng bộ điều khiển PID chính xác. Như vậy, bạn sẽ không còn phải lo lắng về vấn đề này nữa.