Trong môi trường sản xuất, người ta học hỏi rất nhanh: chỉ cần có sự thay đổi nhiệt độ 1°C trong quá trình nung phim quang hóa cũng đủ để làm thay đổi độ dày của các đường kẻ trên wafer, khiến wafer 300mm trở thành phế phẩm. Thời gian nung cần được kiểm soát chặt chẽ; không có chút linh hoạt nào cả. Sự đồng nhất về nhiệt độ không chỉ là điều mong muốn, mà còn là yếu tố quyết định việc có thể sản xuất ra sản phẩm chất lượng hay không.
Chúng tôi chế tạo các bóng đèn sưởi ấm bằng tia hồng ngoại nhằm duy trì mức nhiệt ổn định trong suốt quá trình sản xuất.
Điều quan trọng nhất là gì? Chúng tôi sử dụng các bóng đèn phát tia hồng ngoại tần số cao – có khả năng tăng nhiệt độ nhanh và kiểm soát được phổ ánh sáng một cách chính xác. Nhờ đó, nhiệt độ có thể được đạt được ngay lập tức mà không xảy ra hiện tượng vượt quá mức cho phép. Mức độ đồng nhất về nhiệt độ trên wafer có thể đạt mức ±0,1°C, còn độ lặp lại của giá trị nhiệt độ có thể đạt mức ±0,5°C.
Các hạt bẩn không thể xâm nhập vào bên trong, vì các vật liệu được sử dụng đều phù hợp với môi trường sạch, và đường dẫn ánh sáng được bảo vệ kỹ lưỡng. Các bóng đèn này có thể hoạt động liên tục hơn 5.000 giờ mà chỉ giảm công suất dưới 5%. Kích thước của chúng phù hợp với các không gian lắp đặt tiêu chuẩn, và có thể được kết nối dễ dàng với hệ thống điều khiển PLC hiện có.
Tại sao điều này lại quan trọng trong quy trình in ấn và đóng gói? Trong quy trình in ấn, tính lặp lại cao giúp đảm bảo chất lượng phim quang hóa ổn định, giảm số lượng sản phẩm phải tái chế, và giúp kiểm soát độ chính xác của thông số kỹ thuật. Trong quy trình đóng gói, việc sưởi ấm nhanh và đồng đều giúp rút ngắn thời gian xử lý, mà không gây áp lực lên các lớp vật liệu được sử dụng.
Vì bóng đèn sưởi ấm trực tiếp lên vật liệu cần xử lý, nên không cần lãng phí năng lượng để sưởi ấm không khí trong buồng sản xuất. Kết quả là quy trình sản xuất trở nên ổn định hơn, thời gian bảo trì có thể dự đoán được, và ít xảy ra tình trạng dừng máy bất ngờ.
Những gì cần chuẩn bị khi lắp đặt? Việc lắp đặt chủ yếu xoay quanh việc điều chỉnh vị trí ánh sáng và đảm bảo môi trường không bị nhiễu điện từ. Các tia sáng lạ có thể tạo ra các điểm nóng, vì vậy việc bảo vệ và kiểm soát tia sáng là điều rất quan trọng.
Các bóng đèn có thể hoạt động trong môi trường sạch loại 1–100, nhưng hiệu suất sưởi ấm phụ thuộc vào cấu trúc của buồng sản xuất và dòng khí lưu thông. Hãy cung cấp cho chúng tôi thông tin về thiết bị của bạn, và chúng tôi sẽ điều chỉnh cấu hình cho phù hợp.
Quá trình kiểm tra chất lượng diễn ra nhanh chóng. Một khi quy trình đã được cài đặt ổn định, tính lặp lại giữa các lần sản xuất sẽ đạt mức mong muốn.