半導体用接着剤の赤外線硬化

300mmウェーハの製造において、接着剤の硬化処理は単なる加熱工程ではありません。それは寸法制御の観点からも重要な要素です。わずか数度のずれがあっただけで、フォトレジストの形状が変わり、重ね合わせが乱れてしまいます。その結果、レティクルがウェーハに接触する前から品質が低下してしまいます。だからこそ...