スマートファブで適切な熱処理を実現するには スマートファブを構築する際には、すべてが予測可能である必要があります。単に「熱が一定に保たれることを願う」だけでは不十分です。部品がラインを通過するたびに、常に同じ熱量が得られる必要があります。 そこで役立つのが、二重管構造の金メッキランプです。これが最...

悪夢を止める：IRランプの破損を防ぐ方法 半導体製造ラインで、高負荷状態下でIRランプが破損する経験をしたことがある人なら、それがどれほど大変なことかご存知でしょう。単にランプが点灯しなくなるだけではありません。石英の破片や化学物質がウェーハに降り注ぎ、生産効率が低下してしまいます。これは誰もが避...