라인상에서 300mm 웨이퍼가 베이킹 스테이션으로 들어갑니다. 포토레지스트는 몇 초 이내에 전체 표면에 걸쳐 목표 온도에 도달해야 합니다. 이 시간을 놓치면 CD의 정밀도가 떨어지게 되고, 그로 인해 생산 효율도 저하됩니다.
핵심은 무엇인가? 우리는 빠르고 안정적인 에너지 전달이 가능한 단파장 NIR 소스를 기반으로 클린룸용 적외선 히터를 설계했습니다. 클로즈드-루프 피드백 덕분에 온도 변동은 ±0.1°C 이내로 유지됩니다. 따라서 웨이퍼 전체의 온도가 균일해지며, 이 정보는 데이터 로그에서 바로 확인할 수 있습니다.
쿼츠 커버와 세라믹 본체는 Class 1–100 등급의 클린룸에 적합하도록 설계되었습니다. 가스 방출량이 적으며, 입자 생성도 최소화됩니다. 전력 밀도도 공정 요구사항에 맞게 조절되어, 소프트 베이킹이든 하드 베이킹이든 일관된 성능을 보입니다.
왜 이 제품이 리소그래피 및 웨이퍼 처리에 적합한가? 리소그래피 및 웨이퍼 처리 과정에서 베이킹 단계는 가장 많은 열이 사용되는 부분입니다. 반복 가능한 온도 제어 덕분에 라인 간 및 로트 간의 차이가 줄어듭니다. 그 결과, 불필요한 오차가 줄어들고, CD의 정밀도도 안정적으로 유지됩니다.
히터는 설정된 온도에 빠르게 도달하며, 진동 없이 그 온도를 유지합니다. 따라서 에너지 사용량도 줄어듭니다. 또한, 이 히터는 24/7 연속 가동에도 적합하며, 유지보수도 거의 필요하지 않습니다.
설치하기 전에 고려해야 할 사항들 이 히터들은 기존의 베이킹 모듈에 쉽게 통합될 수 있지만, 침실의 열적 특성과 설치 방식을 잘 맞춰야 합니다. 인터페이스 부분을 미리 체크하여, 간격, 정렬 상태, 온도 센서의 위치 등을 고려해야 합니다.
또한, 장비에 맞는 전압과 커넥터 유형을 선택해야 하며, 해당 공정에 필요한 클린룸 등급도 반드시 확인해야 합니다.