Op de productielijn leer je snel: een verschil van 1°C tijdens het verhitten van de fotoresist is al voldoende om de breedte van de lijnen te veranderen, waardoor een 300 mm grote wafer niet meer bruikbaar is. De tijdsintervallen voor het zacht en hard verhitten zijn zeer strikt – er is geen ruimte voor fouten. Thermische uniformiteit is geen luxe; het bepaalt of de productie succesvol verloopt of niet.
We hebben onze infraroodverwarmingslampen zo ontworpen dat de thermische condities constant blijven, shift na shift.
Wat belangrijk is We gebruiken korte-golflengtestralers die snel reageren en nauwkeurig kunnen worden geregeld. Hierdoor wordt de gewenste temperatuur snel en rechtstreeks bereikt, zonder dat er sprake is van overdreven warmte. Er wordt een uniformiteit van ±0,1°C bereikt in de verhittingszone, met een herhaalbaarheid van ±0,5°C.
Deeltjes blijven buiten omdat de materialen geschikt zijn voor gebruik in een schone omgeving en de optische weg volledig afgesloten is. De lampen kunnen meer dan 5.000 uur draaien, met minder dan 5% vermogensverlies. De lampen passen in standaard gereedschapsruimtes en kunnen gemakkelijk worden geïntegreerd in bestaande PLC-systemen.
Waarom dit belangrijk is in lithografie en verpakking In lithografie zorgt deze herhaalbaarheid voor consistente resultaten bij het gebruik van fotoresist, minder herwerkingsprocessen en betere controle over de afmetingen van de wafer. In verpakking zorgt de snelle en gelijkmatige verwarming voor kortere verwerkingstijden, zonder dat dit negatieve effecten heeft op de constructie van de producten.
Omdat de lampen de gewenste plekken rechtstreeks verwarmen, wordt er geen energie verspild aan het opwarmen van de lucht in de kamer. Hierdoor zijn de procescondities stabiel, zijn de onderhoudsintervalle voorspelbaar en komt er minder vaak tot onvoorzien stoppen van het proces.
Wat er nodig is bij de installatie Voor een goede werking zijn optische alignment en goede EMI/EMC-maatregelen essentieel. Onnodige reflecties kunnen leiden tot hotspots, dus shielding en andere beschermmaatregelen zijn belangrijk.
De lampen kunnen worden gebruikt in schone kamers van klasse 1–100. De thermische prestaties hangen echter af van de geometrie van de kamer en de luchtcirculatie. Geef ons uw specificaties door, dan passen we de configuratie daarop aan.
De kalibratie gaat snel. Zodra het proces is geoptimaliseerd, blijft de herhaalbaarheid op het gewenste niveau.