クリーンルーム用トロリーをオーブンのように使わないでください
ほとんどの加熱要素は、熱をあらゆる方向に放出します。半導体製造のクリーンルームでは、これは問題を引き起こす原因となります。古いタイプのヒーターを使用すると、装置の内壁がその無駄なエネルギーを吸収してしまいます。
その結果、筐体が触れられないほど熱くなり、熱膨張によって敏感な部品が変形してしまいます。これは大変な問題です。
熱を正しい場所に送る
この問題を解決するために、指向性赤外線技術を利用します。これは、スペースヒーターというよりは、懐中電灯のようなものです。空気や金属製のケースを温めるのではなく、赤外線ランプは電磁波を直接ワークピースに送り込みます。エネルギーは、その波長を吸収できる表面に当たった時だけ移動します。
反射機能を持つランプや、集光機能を持つクォーツ製の覆いを使用することで、熱を前方向に送ることができます。そうすれば、トロリー内部の「オーブン効果」が防がれます。ウェーハや基板を所定の温度に保つことができ、一方で外側のケースは冷たいままです。
チームの安全を守る
装置の内壁の温度を下げることは、単に電気代を節約するためだけではありません。実際に機械を操作する人々の安全のためでもあります。内壁が冷たく保たれていれば、部品の装着や点検作業を行う際に、火傷を負う心配もありません。
しかし、出力には注意しなければなりません。高密度の赤外線ランプは、非常に短時間で目標に達します。しかし、出力を過度に上げてしまうと、熱が筐体の中に侵入してしまいます。私は、ビームを集中させるために、金メッキや研磨処理されたアルミニウム製の反射板を併用することを推奨します。
トレードオフ
指向性加熱に切り替えることは、古いシステムからの交換としては比較的簡単ですが、機械の仕組み自体が変わってしまいます。
熱が集中するため、ワークピースが正しい位置にない場合、「寒い部分」ができてしまう可能性があります。正確な位置調整が必要です。わずかに位置がずれても、均一でない加熱になってしまいます。