省エネ型半導体ヒーター

機械の壁を加熱するのはやめて、ウェーハを加熱しましょう 半導体製造装置の壁がどれほど高温になるか、気づいたことはありますか？これは非常によくある問題です。一般的な加熱方式では、エネルギーがあらゆる方向に放出されるため、実際にウェーハを加熱する代わりに、装置自体のケースが過度に加熱されてしまいます。...