化学工場で部品を乾燥させる際には、まるで火遊びをしているようなものです。あちこちに揮発性の高い洗浄剤があるため、わずかな火花や高温の表面が何かに触れるだけで、仕事が大惨事に変わってしまう可能性があります。そのため、私たちは単にランプを箱の中に入れるだけではなく、IR加熱ランプをケースに封じ込めて、...

機械の壁を加熱するのはやめて、ウェーハを加熱しましょう 半導体製造装置の壁がどれほど高温になるか、気づいたことはありますか？これは非常によくある問題です。一般的な加熱方式では、エネルギーがあらゆる方向に放出されるため、実際にウェーハを加熱する代わりに、装置自体のケースが過度に加熱されてしまいます。...

揮発性化学物質の近くでウェーハを加熱する際に、安全を守る方法 正直言って、化学洗浄ラインでウェーハを加熱するのは非常に危険な作業です。周囲には可燃性または爆発性のある蒸気が漂っており、加熱装置もその真ん中にあるのです。 一般的な赤外線ランプでは、このような環境には適していません。わずかな火花や、高...

Role ファブフロアでは、乾燥に消費するワットはすべて、プロセスマージンに使えないワットである。従来型のオーブンやホットプレートは、熱予算を超過しがちであり、リソグラフィに必要な±0.1℃の均一性を追求する過程でエネルギーを浪費している。乾燥は迅速でクリーンかつ再現性があり、かつ光熱費が跳ね上が...