TEL 東京エレクトロン ヒーターランプ

製造現場では、温度や時間が製品の品質を左右します。焼成時の温度がわずかにずれただけでも、ウェハ上に低温部分ができ、フォトレジストの特性が崩れてしまいます。そうなると、線幅の制御が困難になり、不良率も上昇してしまいます。 そのため、TELヒーターランプは、適切な温度を維持することができます。つまり、...