チップ上の実験用乾燥ヒーター

製造現場において、熱歪みというのは、目に見えない形で品質を損なう要因です。フォトレジストのソフトベイク時に0.5℃の温度変動があるだけで、重要な寸法が狂ってしまいます。また、洗浄後の乾燥が不均一だと、水跡が残り、それが後々の欠陥につながります。私たちは、このような不確実性を排除するために、Lab...