2026年ベストセラーウェハーヒーター

ファブフロアでは、温度管理が生命線です。フォトレジスト処理において、0.1℃の差がクリーンな工程と廃棄ロットの分かれ目です。熱ムラはホットスポットを生み、重要寸法をずらし、コールドスポットはフットングやスカムを残します。ウェハ全体で熱予算が変動し、ベーク工程の再現性がないと、オーバーレイ予算が縮小...