Stop met het opwarmen van de wanden van de machine (en begin in plaats daarvan de wafer te verwarmen)
Is het je ooit opgevallen dat de wanden van een halfgeleiderkamer ontzettend heet kunnen worden? Het is een frustrerend veelvoorkomend probleem. De meeste verwarmingsystemen sturen energie in alle richtingen, waardoor er veel energie wordt verbruikt om het chassis van de machine op te warmen, in plaats van de eigenlijke wafer. Dat is zonde.
Daarom gebruiken we gerichte infrarode (IR-)verwarming.
Hoe het werkt
Stel je voor dat het anders is dan bij een gloeilamp of zaklamp. In plaats van dat de hitte overal naartoe gaat, richten de gerichte IR-lampen het lichtbundeltje precies op het gewenste punt. We bepalen zelf waar de energie naartoe moet gaan.
Het resultaat? Je dure apparaten functioneren niet meer als ‘reusachtige zeppels’ die onnodig veel hitte opnemen. Je krijgt de gewenste temperatuur op het werkstuk, terwijl de behuizing koel blijft.
Veiligheid en je elektriciteitsrekening
Als de wanden niet zo heet zijn, kan iedereen rustiger ademhalen. Je technici kunnen gemakkelijk onderhoud uitvoeren of snel controles doen, zonder bang te hoeven zijn voor brandwonden.
Bovendien bespaar je geld. Je hoeft geen energie meer te besteden aan het opwarmen van een metalen frame dat helemaal niet zo heet hoeft te zijn.
Één ding om in gedachten te houden: omdat we al die energie in één straal concentreren, is de hitte op het focuspunt zeer intens. Als je werkstuk gevoelig is voor hitte, moet je de afstand tussen de lamp en het werkstuk en de frequentie van de pulsen aanpassen. Je wilt immers geen hete plekken creëren.
Instellen van de lampen
We hebben deze lampen zo ontworpen dat ze gemakkelijk kunnen worden vervangen. Je hoeft je hele kamer niet uit elkaar te halen of de indeling opnieuw te ontwerpen om ze erin te plaatsen.
Maar er is wel één belangrijk punt: alignement is cruciaal.
Als de lamp ook maar een paar graden verschuift, begint de hitte weer naar de wanden te stromen. Om dit te voorkomen, moet je ze combineren met een nauwkeurige PID-regelaar. Hierdoor blijft de uitgangstemperatuur constant, zodat je je geen zorgen meer hoeft te maken.