Trong quá trình sản xuất, các thông số liên quan đến nhiệt độ được kiểm soát chặt chẽ trong vài độ và vài giây. Chỉ cần có sự sai lệch 1 độ về nhiệt độ, hoặc có vùng lạnh trên bề mặt wafer, thì chất phủ bảo vệ bề mặt wafer sẽ bị ảnh hưởng. Lúc này, việc kiểm soát chiều rộng của các đường nét trên wafer trở nên khó khăn hơn, và tỷ lệ sai lệch trong quy trình sản xuất cũng tăng lên.
Đó là lý do tại sao các bóng đèn sưởi của TEL giúp duy trì nhiệt độ ở mức ổn định, ngay trong phạm vi cho phép của quy trình sản xuất.
Những yếu tố quan trọng Các bóng đèn này kết hợp khả năng phản ứng với bước sóng hồng ngoại ngắn với độ ổn định cao của thủy tinh thạch anh, nhờ đó mang lại khả năng điều chỉnh nhiệt độ nhanh chóng và chính xác. Độ đồng đều của nhiệt độ trên bề mặt wafer được duy trì ở mức ±0,1°C. Điều này rất quan trọng trong các bước quan trọng như xử lý chất phủ bảo vệ bề mặt wafer, gia nhiệt để làm khô wafer sau khi vệ sinh… Bởi vì bạn có thể áp dụng cùng một quy trình xử lý nhiệt cho từng lô sản phẩm.
Thiết kế của các bóng đèn này giúp giảm thiểu sự tạo ra các hạt bụi và khí thải, điều này rất hữu ích trong môi trường phòng sạch loại 1–100. Công suất đầu ra của bóng đèn vẫn ổn định trong hơn 5.000 giờ sử dụng, với độ lệch công suất dưới 5%. Điều này giúp giảm số lần hiệu chuẩn cần thực hiện, đồng thời tăng khả năng ổn định của quy trình sản xuất.
Tại sao điều này lại quan trọng trong quy trình in ấn Trong quy trình in ấn, bước xử lý nhiệt nhẹ giúp điều chỉnh thành phần dung môi trong chất phủ bảo vệ bề mặt wafer; còn bước xử lý nhiệt mạnh thì giúp cố định thành phần này. Với bóng đèn hồng ngoại của TEL, wafer sẽ nhanh chóng đạt đến nhiệt độ mong muốn – không có sự chậm trễ hay sai lệch về nhiệt độ.
Việc làm khô wafer sau khi vệ sinh cũng trở nên dễ dàng hơn. Bạn có thể loại bỏ hết độ ẩm còn sót lại mà không gây ảnh hưởng đến chất lượng wafer. Kết quả là số lượng sản phẩm bị hư hỏng giảm xuống, thời gian sản xuất cũng trở nên ổn định hơn. Hơn nữa, vì bóng đèn sưởi trực tiếp lên wafer, nên bạn cũng tiết kiệm được năng lượng.
Những chi tiết quan trọng để đảm bảo chất lượng Bóng đèn được thiết kế riêng cho các hệ thống TEL, và có thể được tích hợp một cách dễ dàng. Tuy nhiên, việc căn chỉnh vị trí bóng đèn và trạng thái của các bộ phận phản xạ ánh sáng vẫn rất quan trọng để đảm bảo chất lượng quy trình sản xuất. Bạn cần dành thời gian để điều chỉnh vị trí bóng đèn cho từng kích thước wafer, đồng thời kiểm tra mức độ đồng đều của nhiệt độ trên bề mặt wafer. Việc thay thế bóng đèn nên được coi là một hoạt động bảo trì định kỳ, chứ không phải là hành động khẩn cấp – nếu không, chất lượng sản xuất sẽ bị ảnh hưởng.