曝光后烘烤 PEB 加热器

在光刻过程中，PEB阶段的温度变化并不会通过警示灯来显示出来。其表现形式是线条宽度的波动、剂量偏差的增加，以及最终产生的废品——这些问题往往要在事后才能被发现。我们设计了这种曝光后烘烤装置，就是为了消除这些不确定性，因为光刻胶的化学性质不允许其工作温度超出特定范围。 从技术层面来看，什么才是最重要...