Správné řízení tepla ve „chytré“ výrobní lince Pokud budujete chytrou výrobní linku, víte, jak to funguje – všechno musí být předvídatelné. Nemůžete...

Bezpečné sušení v chemické továrně Když sušíte díly v chemické továrně, doslova hrajete si s ohněm. Všude kolem jsou těkavé čisticí prostředky. V...

Přestaňte čekat na troubu: Proč je infračervené ohřevání lepší než ohřev vynuceným vzduchem Pokud jste někdy pracovali v oblasti zpracování...

Zabráněte poškození vašich destiček infračervenými lampami Pokud používáte rukavici s vysokou zátěží, znáte ten noční můrný scénář – infračervená...

Jak spravovat vytápění v čisté místnosti třídy 100 bez znečištění Udržet čistou místnost třídy 100 opravdu čistou je noční můra. Musíte neustále...

Většina standardních infračervených zařízení v podstatě slouží jako topidla pro vaše stroje. Vysílají teplo do všech směrů, čímž plýtvají energií –...

Přestaňte proměňovat vozíky v čistých prostorách v „peci“ Většina topných prvků vyzařuje teplo do všech směrů. V čistých prostorách určených k práci...

Přestaňte zahřívat stěny stroje (a začněte zahřívat desky) Všimli jste si někdy, jak mohou být stěny komory určené k zpracování polovodičů extrémně...

Učiněte svou výrobní továrnu chytřejší pomocí infračervených lamp z uhlíkových vláken Pokud plánujete moderní výrobní továrnu, pravděpodobně jste si...

Zachování bezpečnosti při zahřívání desek v blízkosti těkavých chemikálií Buďme upřímní: zahřívání desek v zařízeních na chemické čištění je náročný...

Přestaňte plýtvat teplem V továrnách na výrobu polovodičů je každý zbytečně spotřebovaný watt vlastně jen plýtváním penězi. Většina lidí o tom...

Jak chránit vaše skvělé lampy: Pravda o křemíkových štítových vrstvách Pojďme mluvit o sušení pomocí polovodičů. Většina z nás přešla na sušení...

Správné sušení čipů MEMS Sušení čipů senzorů typu MEMS představuje opravdu náročný úkol. Pokud nezvládnete správně rozložit teplo, začne působit...

Nenechte vadnoucí žárovku zničit celou várku biosenzorů Při výrobě biosenzorů je nutné zajistit dokonalou teplotu. Stačí jediný elektrický oblouk...

Jak zabránit tomu, aby vaše infrazářivé lampy představovaly riziko v chemických prostředích Buďme upřímní: používání infrazářivých topných lamp v...

Jak zastavit noční můru: Jak zabránit prasknutí infračervených lamp Pokud jste někdy zažili prasknutí infračervené lampy během intenzivního provozu v...

Soupeření mezi teplem a vzdáleností při zahřívání čipů Pokud skutečně chceme snížit uhlíkovou stopu výrobních závodů na polovodiče, musíme přestat...

Zlepšování způsobu výroby uhlíkových nanotrubic Výroba uhlíkových nanotrubic spočívá především v použití tepla. Pokud nezachováte správnou teplotu,...

Jak zahřát polovodičové zařízení, aniž by se roztavila skříňka Už jste se někdy snažili zahřát vnitřek polovodičového zařízení, jen abyste zjistili,...

Proč přecházíme na vysychání pomocí infračerveného záření u čipů bez olova Buďme upřímní: ty staromódní konvekční trouby jsou opravdu zbytečné. Jsou...

Proč přestali jsme používat ozon při sušení součástek pomocí infračerveného záření Pokud jste někdy strávili čas v prostorách určených k výrobě...

Přestaňte plýtvat teplem: Proč jsou zlaté reflektory opravdu důležité Pokud jste někdy pracovali s chytrými obaly pro senzory, víte, jak těžké je...

Proč vakuumové infračervené ohřevy převyšují horký vzduch v práci se polovodiči Pokud jste někdy pracovali s polovodiči, určitě znáte frustraci...

Úvod Zkoušeli jste někdy vyrábět senzory vodíku vedle nádržky na chemické čištění? Jde o neстабильnou směs – hořlavou, výbušnou – a rozhodně to není...

Dosahování vysokých standardů bez překročení rozpočtu Výpadky v provozu továrny? To je něco, co vás opravdu znepokojuje. Víte, že potřebujete...

Úvod Potřebujete pro svůj Nikon stepper lampu, která bude fungovat stejně jako originál, ale za nižší cenu? Rozumíme vám. Vytvořili jsme tuto...

V prostředí výroby závisí kvalita výsledku na úhlech a sekundách. Jeden stupeň odchylky teploty, chladná oblast na povrchu waferu – a profil...

Na lince se 300mm velký wafer posouvá do zařízení na zahřívání. Fotorezistent musí během několika sekund dosáhnout požadované teploty na celé své...

V praxi není teplota jen nastavením na přístroji – jedná se o parametr, který pociťujete při každé změně. I poloviční odchylka v teplotě může...

V provozu se rychle učíte: posun o 1 °C během vypalování fotorezistu stačí k tomu, aby se změnila šířka čar na destičce a 300mm destička se proměnila...

V provozu výroby způsobují tepelné výkyvy během procesů zahřívání čipů a zpracování fotorezistů nejen snížení kvality výstupních produktů – dokonce...

Na linkách o velikosti 300 mm není vysychání lepidla jen dalším termickým krokem – jedná se o faktor, který ovlivňuje rozměry povrchu čipu. I několik...

V prostoru určeném k litografii se odchylky teploty PEB neprojevují pomocí varovného světla. Projevují se spíše jako změny šířky prvků na desce,...

V prostředí výroby není termická odchylka během měkkého nebo tvrdého zahřívání pouze problémem spojeným s šířkou linek. Tato odchylka postupně...

Na povrchu čipů stačí během sušení posun o půl stupně, aby došlo k narušení kritických rozměrů a začaly se objevovat vady v fotorezistu. Je potřeba...

V prostředí výroby je tepelná odchylka tím „tichým zabijákem kvality“, kterého ne vždy můžete vidět. Pohyb teploty o 0,5 °C během procesu zahřívání...

Na výrobní lince není při zpracování fotoresistu a sušení po čištění prostor pro chyby. Hovoříme zde o tolerancích v řádu nanometrů. Změna teploty...

On-line je třeba sušit katalytické vrstvy bez jakýchkoli odhadů. Při nedostatečném vysušení zůstává v materiálu zbytek rozpouštědla, což vede k...

Na výrobním podlaží je mokrý wafer závazkem, který si nemůžete dovolit. Zbytková vlhkost vás vystavuje riziku kolapsu vzoru po expozici a pečící...

Out on the lithography floor, the stripping chamber doesn’t cut you any slack when the temperature drifts. A 0.5°C swing across the wafer can...

Na výrobní lince stačí půl stupně odchylky během pečení fotorezistu k tomu, aby se šířky linek posunuly a vznikl značný odpad. Nulová tolerance...

Na podlaze není možné volit mezi dostupností RTP a řízením teploty. Pokud lampa ztratí stabilitu nebo topení nedokáže udržet uniformitu, okamžitě to...

Na výrobní lince každý watt spotřebovaný na sušení znamená watt, který nelze využít na procesní rezervu. Tradiční pece a horké desky běžně překračují...

Na výrobní lince není teplota jen parametr. Je to samotný proces. Posun teploty pečení ovlivní tok fotorezistu a změní kritické rozměry. Horké místo...

Na výrobní podlaze závisíte na řízení teploty. Při zpracování fotoresistu znamená desetina stupně rozdíl mezi čistým průběhem a šarží určenou k...